程序升溫氧化(TPO)是在程序升溫過程中催化劑外表沉積物(或吸附物等)產生的氧化反應。測試裝置與TPD裝置相同。化學吸附儀供應商催化劑在使用過程中，活性逐漸下降，其中原因之一是催化劑外表有積炭出產，程序升溫氧化法TPO是研究催化劑積炭生成機理的有用手法。

堿性(酸性)氣體在酸性（堿性）中心上吸附時，吸附在強酸（強堿）中心上的比吸附在弱酸（弱堿）中心上的安穩，化學吸附儀供應商也更難脫附，提高溫度可令其從酸性（堿性）中心上脫附，而那些在弱酸（弱堿）中心上的將首先脫附，因此測定在不同溫度下脫附的吸附堿（酸）相對量可測定酸（堿）中心強度，而脫附的堿性（酸性）氣體的量也就對應其酸量（堿量）。